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专利名称：一种高气密性治具腔体专利类型：实用新型专利发明人：刘波
申请号：CN202020531910.3申请日：20200413公开号：CN211477513U公开日：20200911
摘要：本实用新型公开了一种高气密性治具腔体，包括治具本体，所述治具内部设有检测腔；所述治具上设置有与被检测装置相连接的连接孔槽，以及与抽真空装置相连通的抽气孔；所述治具设置有封合端面，所述封合端面设置有与所述检测腔连通的封合孔，所述封合孔上覆设有封合板，所述封合板和所述封合端面间设置有密封垫圈；所述封合端面的一端设置有转动轴，所述封合板的一端设置有弧形内凹的转动槽；所述封合板的一端通过所述转动槽压抵在所述转动轴上，并朝所述封合端面转动，所述封合板的另一端通过螺栓与所述封合端面相紧固。本实用新型能够简化治具封合板的装拆步骤，且气密性能更佳。
申请人：无锡升滕半导体技术有限公司
地址：214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道天安智慧城
国籍：CN
代理机构：无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：蔡赵
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