微悬臂梁传感器工作模式理论分析研究

第１０卷第５期　２０１３年１０月　纳米器件与技术　Ｎａｎｏｄｅｖｉｃｅ＆Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｖｏ１．１０　Ｎｏ．５　Ｏｃｔｏｂｅｒ　２０１３　微悬臂梁传感器工作模式理论分析研究　刘志伟，童朝阳，张金平，郝兰群　（防化研究院国民核生化灾害防护国家重点实验室，北京　１０２２０５）　摘要：简要地介绍了微悬臂梁传感器的工作原理和主要特性，着重介绍了微悬臂梁传感器动、　静态工作模式下的理论分析方法和提高灵敏度的主要方法。微悬臂梁传感器在动态．７－作模式下　灵敏度极高，但在液态环境下使用易受到液体阻尼效应的影响，只适于在空气中运行使用；相　对于动态模式，静态模式受液体黏性的影响较小，更适于在液态中使用。　关键词：微悬臂梁传感器；工作模式；理论分析；灵敏度；影响因素　Ｒｅｓｅａｒｃｈ　ｏｎ　Ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌ　Ａｎａｌｙｓｉｓ　ｏｆ　Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ　Ｍｏｄｅｓ　ｆｏｒ】Ⅵｉｃｒ０一ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　Ｓｅｎｓｏｒ　ＬＩＵ　Ｚｈｉ—ｗｅｉ，ＴＯＮＧ　Ｚｈａｏ－ｙａｎｇ，ＺＨＡＮＧ　Ｊｉｎ－ｐｉｎｇ，ＨＡＯ　Ｌａｎ－ｑｕｎ　（Ｓｔａｔｅ　Ｋｅｙ　Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ　ｏｆ　ＮＢＣ　Ｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎ　ｆｏｒ　Ｃｉｖｉｌｉａｎ，Ｒｅｓｅａｒｃｈ　Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ　ｏｆ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｄｅｆｅｎｃｅ，　Ｂｅｉｊｉｎｇ　１　０２２０５，Ｃｈｉｎａ）　Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅ　ｗｏｒｋｉｎｇ　ｐｒｉｎｃｉｐｌｅ　ａｎｄ　ｍａｉｎ　ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ　ｏｆ　ｍｉｃｒｏ－ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　ｓｅｎｓｏｒｓ　ａｒｅ　ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ，ｅｓｐｅｃｉａｌｌｙ　ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌ　ａｎａｌｙｓｉｓ　ｏｆ　ｍｉｃｒｏ—ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　ｓｅｎｓｏｒ　ｉｎ　ｄｙｎａｍｉｃ　ａｎｄ　ｓｔａｔｉｃ　ｏｐｅｒａｔｉｎｇ　ｍｏｄｅ，ａｎｄ　ｔｈｅ　ｐｒｉｍａｒｙ　ｍｅｔｈｏｄ　ｔｏ　ｉｍｐｒｏｖｅ　ｔｈｅ　ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ　ａｒｅ　ｄｉｓｓｃｕｓｓｅｄ．Ｉｎ　ｔｈｅ　ｄｙｎａｍｉｃ　ｏｐｅｒａｔｉｎｇ　ｍｏｄｅ，Ｍｉｃｒｏ－ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　ｓｅｎｓｏｒ　ｈａｓ　ａ　ｈｉｇｈ　ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ，ｂｕｔ　ｉｔ　ｉｓ　ｖｕｌｎｅｒａｂｌｅ　ｔｏ　ｔｈｅ　ｄａｍｐｉｎｇ　ｅｆｆｅｃｔ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｌｉｑｕｉｄ．Ｔｈｕｓ，ｔｈｅ　ｏｐｅｒａｔｉｏｎ　ｉｓ　ｏｎｌｙ　ｓｕｉｔａｂｌｅ　ｆｏｒ　ｕｓｅ　ｉｎ　ｔｈｅ　ａｉｒ．Ｃｏｍｐａｒｅｄ　ｗｉｔｈ　ｔｈｅ　ｄｙｎａｍｉｃ　ｏｐｅｒａｔｉｎｇ　ｍｏｄｅ，ｓｔａｔｉｃ　ｏｐｅｒａｔｉｎｇ　ｍｏｄｅ　ｉｓ　ｍｏｒｅ　ｓｕｉｔａｂｌｅ　ｆｏｒ　ｒｉｓｅ　ｉｎ　ｔｈｅ　ｌｉｑｕｉｄ　ｂｅｃａｕｓｅ　ｏｆ　ｌｅｓｓ　ｉｎｆｌｕｅｎｃｅｓ　ｒｅｓｕｈｅｄ　ｆｒｏｍ　ｔｈｅ　ｖｉｓｃｏｕｓ．　Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｍｉｃｒｏ—ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　ｓｅｎｓｏｒ；ｏｐｅｒａｔｉｎｇ　ｍｏｄｅｓ；ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌ　ａｎａｌｙｓｉｓ；ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ；ｉｎｆｌｕｅｎｃｉｎｇ　ｆａｃｔｏｒｓ　中图分类号：ＴＰ２１２．９　文献标识码：Ａ　文章编号：１８１２—１９１８（２０１３）０５—００１０—０５　０引言　由于微悬臂梁传感器具有体积小、灵敏度高、　不需标记、可阵列化等优点，在发展微型化、集　成化、智能化等方面具有很大的优势，成为近年　目前，以微悬臂梁传感器为基础的各种生化　分子检测研究已经成为生化检测领域的重点研究　方向。然而，对于微悬臂梁传感器上发生的生化　反应如何引起微悬臂梁的弯曲（或谐振频率的改　变）研究还较少。在现阶段，微悬臂梁传感器的　动、静态工作模式均有不同的理论模型及研究方　法。本文主要概括了微悬臂梁传感器的工作原理　和主要特性．着重介绍了微悬臂梁传感器动、静　态工作模式下的理论分析方法和提高灵敏度的主　要方法　的研究热点，并广泛用于抗原【”、ＤＮＡｔ２１、细菌闭、　病毒［４１、化学毒物及爆炸物　、生物分子构象变化　ｆｉ］、湿度阎、流速　、热量【　ｏｌ等诸多检测领域。　收稿日期：２０１３－０９—１３　ｌＯ　第１０卷第５期　２０１３年１０月　纳米器件与技术　Ｎａｎｏｄｅｖｉｃｅ＆Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｖ０ｌ＿１０　Ｎｏ．５　Ｏｃｔｏｂｅｒ　２０１３　图３微悬臂梁动态模式工作原理　刚度的改变是均匀的）：　ＡＵ＝　（　一　）　（３）　悬臂梁谐振频率随悬臂梁质量的增加而减　小，随悬臂梁弹性系数的增加而增加。目前大多　数的报道认为悬臂梁谐振频率的变化主要是由于　分子结合引起的质量增加，质量改变使相对弹性　＼７、Ｉ　系数改变，对悬臂梁谐振频率的变化占主导作　用，因此，上式中弹性系数项可忽略，谐振频率　变化公式可简化为：　Ａｍ一　＿　（４）　由（４）式可知，微悬臂梁谐振频率的变化与　未结合目标分子时的固有频率及质量增加成正　比，与未结合目标分子时微梁的质量成反比，因　此，若在保证微梁表面积大小不变而能结合上同　样多的目标分子的情况下，微梁制作的越薄，其　未结合目标分子时固有频率越大、质量越小．微　梁也更灵敏。　但最近有研究报道表明　，谐振频率的变化　主要是由于生物分子间相互作用诱导的表面　应力导致刚度变化而引起，总的质量改变引起频　率变化不是主因。由分子间作用引起的表面应力　可用下面这个公式来估算：　丁：孚【Ｌ　２（筝）＋（Ｊ１　筝）ｊｉ　２］　（５）　丁。是每单位长度微悬臂梁的弯曲载荷，　丁ｏ＝　｝　（６）　占为悬臂梁的抗弯刚度，　为悬臂梁的长度。　ｆ可表示为：　＝（　）　、／　（７）　为悬臂梁的有效质量。　Ａ　满足先验方程：　ｃｏｓＡｉｃｏｓｈＡ　＋１＝０　（８）　在微悬臂梁表面结合分子而引起频率变化至　１２　ｉ时，　＝ｆｉ＋　＝（　、／【者］［１４‘　］（９）　是由于表面结合分子引起的谐振频率改　变，△　是所结合分子的总质量。．『是由于分子结　合引起生物分子间相互作用产生的表面应力。　由（５）、（６）、（７）式可知，微悬臂梁质量一　定、结合同样目标分子的情况下，微梁越长，其　频率变化值越大，微悬臂梁的灵敏度也越高。　微悬臂梁传感器在动态工作模式下灵敏度极　高，但在液态环境下使用易受到液体阻尼效应的　影响，只适于在空气中运行使用，相对于动态模　式，静态模式受液体黏性的影响较小，更适于在　液态中使用。　４提高灵敏度的主要方法　４．１　优化微悬臂梁几何结构　由ｓｔｏｎｅｙ方程＿ｌ２＿可知。微悬臂梁的弯曲大小　与微悬臂梁的长度及厚度有关。与其长度的平方　成正比，与其厚度的平方成反比，因此，理论上　来说，微悬臂梁的长度越长，厚度越薄，其灵敏　度越高。然而，目前制作微悬臂梁的技术而言，　过长和过薄会导致微悬臂梁容易断裂，因此在保　证微悬臂梁牢固的前提下．加大微悬臂梁长度与　厚度的相对比值可以显著增加其灵敏度。　４．２使用杨氏模量更低的材料　除用硅、氮化硅和二氧化硅等硅材料制作微　悬臂梁，还可应用杨氏模量更低的高聚物材料来　制备微杨氏模量只有硅材料的１／４０，由ｓｔｏｎｅｙ方　程＿ｌ２］可知，杨氏模量降低，灵敏度提高。相对悬　臂梁，部分文献【１８Ⅱ　９］应用由ｓｕ一８材料制作的微悬　臂梁来检测目标物。由ＳＵ一８制作的微悬臂梁适　于氮化硅等材料，而对ＰＨ、酸碱度等化学物质　相应不敏感，在很多场合下可以更好地消除本底　噪音．但制造工艺还不是很成熟，应用不多。　４．３纳米材料的信号放大　纳米材料可以增加微悬臂梁的检测灵敏度。　第５期　２０１３年ｌ０月　纳米科技　Ｎｏ．５　Ｏｃｔｏｂｅｒ　２０１３　Ｎａｎｏｓｃｉｅｎｃｅ＆Ｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　目前。已有研究者Ｉ２０￣Ｎ用硅纳米粒子修饰的ｃＤ—　ＮＡ形成免疫复合物来检测ＨＢＶ（乙型肝炎病毒）　的ＤＮＡ，检测灵敏度达到２３．１ｆＭ一２．３１ｎＭ，比不　用纳米粒子免疫复合物检测的灵敏度提高了２—３　个数量级。　４．４磁力加大弯曲　在利用纳米材料修饰的抗体与抗原形成免疫　复合物将信号放大的基础上，还可通过对结合上　的纳米材料施加力来增大悬臂梁的弯曲。有研究　者【２ｌ＿利用磁性四氧化三铁纳米粒子修饰的抗体与　抗原形成免疫复合物检测ＰＳＡ（前列腺特异性抗　原）．磁性四氧化三铁纳米粒子免疫复合物在微　悬臂梁表面形成以后，用一块直径为２　ｃｍ的圆　柱形永久磁铁在距微悬臂梁约５０　Ｉｘｍ的地方加　大微悬臂梁的弯曲。结果显示，在ＰＳＡ同为　０．４　ｎｇ／ｍＬ的情况下．由于磁场对磁性纳米粒子　吸引而引起的输出电压加大了４．３倍。　５结语　本文简要地概括了微悬臂梁传感器的工作原　理、主要特性，着重介绍了微悬臂梁传感器动、　静态工作模式下的理论分析方法以及提高灵敏度　的主要方法。　参考文献　Ｗｕ　Ｇ　Ｈ，Ｊｉ　Ｈ　Ｆ，Ｈａｎｓｅｎ　Ｋ，ｅｔ　ａ１．Ｂｉｏａｓｓａｙ　ｏｆ　ｐｒｏｓｔａｔｅ—　ｓｐｅｃｉｉｆｃ　ａｎｔｉｇｅｎ（ＰＳＡ）ｕｓｉｎｇ　ｍｉｃｒｏｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓ［Ｊ］．Ｎａｔｕｒｅ　Ｂｉｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，２００１，１９：８５６－８６０．　［２］　Ｉｌｉｃ　Ｂ，Ｙａｎｇ　Ｙ，Ａｕｂｉｎ　Ｋ，ｅｔ　ａ１．Ｅｎｕｍｅｒａｔｉｏｎ　ｏｆ　ＤＮＡ　ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ　ｂｏｕｎｄ　ｔｏ　ａ　ｎａｎｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ［Ｊ］．　Ｎａｎｏ　Ｌｅｔｔｅｒｓ，２００５，５：９２５—９２９．　［３］　Ｘｕ　Ｓ．Ｍｎｔｈａｒａｓａｎ　Ｒ．Ａ　ｎｏｖｅｌ　ｍｅｔｈｏｄ　ｆｏｒ　ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ　ｍａｓｓ—ｃｈａｎｇｅ　ｒｅｓｐｏｎｓｅ　ｏｆ　ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ—ｅｘｃｉｔｅｄ　ｍｉｌｌｉｍｅ—　ｔｅｒ－ｓｉｚｅｄ　ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ（ＰＥＭＣ）ｓｅｎｓｏｒｓ［Ｊ】．Ｓｅｎｓｏｒｓ　ａｎｄ　Ａｃｔｕａｔｏｒｓ　Ｂ，２００９，１４３：１４４～１５１．　【４］　Ｔｉｍｕｒｄｏｇａｎ　Ｅ，Ａｌａｃａ　Ｂ　Ｅ，Ｋａｖａｋｌｉ　Ｉ　Ｈ，ｅｔ　ａ１．ＭＥＭＳ　ｂｉｏｓｅｎ—　ｓｏｒ　ｏｆｒ　ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｈｅｐａｔｉｔｉｓ　Ａ　ａｎｄ　Ｃ　ｖｉｒｕｓｅｓ　ｉｎ　ｓｅｒｕｍ【Ｉｌ　Ｂｉｏｓｅｎｓｏｒｓ　ａｎｄ　Ｂｉｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，２０１１，２８：１８９—１９４．　［５］　Ｐｉｎｎａｄｕｗａｇｅ　Ｌ　Ａ，Ｔｈｕｎｄａｔ　Ｔ，Ｇｅｈｌ　Ａ，Ｗｉｌｓｏｎ　Ｓ　Ｄ，　Ｈｅｄｄｅｎ　Ｄ　Ｌ，Ｌａｒｅａｕ　Ｒ　Ｔ．Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ　ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ　ｏｆ　ｕｎｃｏａｔｅｄ　ｓｉｌｉｃｏｎ　ｍｉｃｒｏｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　ｓｕｒｆａｃｅｓ　ｆｏｒ　ｅｘｐｌｏｓｉｖｅ　ａｎｄ　ｃｏｍｍｏｎ　ｎｏｎｅｘｐｌｏｓｉｖｅ　ｖａｐｏｒｓ［Ｊ］．Ｕｌｔｒａｍｉｃｒ０ｓｃ叩ｙ，　２００４，１００：２１　１－２１６．　［６】　Ｐｉｎｎａｄｕｗａｇｅ　Ｌ　Ａ，Ｐｉｎｎａｄｕｗａｇｅ　Ｌ　Ａ，Ｗｉｇ　Ａ，Ｈｅｄｄｅｎ　Ｄ　Ｌ．ｅｔ　ａ１．Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ　ｏｆ　ｔｒｉｎｉｔｒｏｔｏｌｕｅｎｅ　ｖｉａ　ｄｅｆｌａｇｒａｔｉｏｎｏｎ　ａ　ｍｉｃｒｏｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ【Ｊ］＿Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ，　２００４，９５：５８７１—５８７５．　Ｍｕｋｈｏｐａｄｈｙａｙ　Ｒ，Ｓｕｍｂａｙｅｖ　Ｖ，Ｌｏｒｅｎｔｚｅｎ　Ｍ，Ｋｊｅｍｓ　Ｊ，　Ａｎｄｒｅａｓｅｎ　Ｐ　Ａ，Ｂｅｓｅｎ　ｂａｃｈｅｒ　Ｆ．Ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　ｓｅｎｓｏｒ　ｆｏｒ　ｎａｎｏｍｅｃｈａｕｉｃａｌ　ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ　ｏｆ　ｓｐｅｃｉｉｆｃ　ｐｒｏｔｅｉｎ　ｃｏｎｆｏｒｍａ—　ｔｉｏｎｓ［Ｊ］．Ｎａｎｏ　Ｌｅｔｔｅｒｓ，２００５，５：２３８５—２３８８．　［８］　Ｓｈｉ　Ｘｉａｏ—Ｌｅｉ，Ｃｈｅｎ　Ｑｉ，Ｆａｎｇ　Ｊｉ，ｅｔ　ａ１．Ａ１２０３－ｃｏａｔｅｄ　ｍｉ—　ｃｒｏｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓ　ｆｏｒ　ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ　ｏｆ　ｍｏｉｓｔｕｒｅ　ａｔ　ｐｐｍ　ｌｅｖｅｌ［Ｊ］．　Ｓｅｎｓｏｒｓ　ａｎｄ　Ａｃｔｕａｔｏｒｓ　Ｂ，２００８，１２９：２４１—２４５．　【９］　Ｚｈａｎｇ　Ｑｉ，Ｒｕａｎ　Ｗｅｎ—Ｚｈｏｕ，Ｗａｎｇ　Ｈａｎ，ｅｔ　ａ１．Ａ　ｓｅｌｆ—　ｂｅｎｄｅｄ　ｐｉｅｚｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ　ｍｉｃｒｏｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　ｆｌｏｗ　ｓｅｎｓｏｒ　ｆｏｒ　ｌｏｗ　ｌｆｏｗ　ｒａｔｅ　ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ［Ｊ］．Ｓｅｎｓｏｒｓ　ａｎｄ　Ａｃｔｕａｔｏｒｓ　Ａ，　２０１０，１５８：２７３—２７９．　［１０］　Ｂａｃｈｅｌｓ　Ｔ，Ｔｉｅｆｅｎｂａｃｈｅｒ　Ｆ，Ｓｃｈａｆｅｒ　Ｒ．Ｃｏｎｄｅｎｓａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｉｓｏｌａｔｅｄ　ｍｅｔａｌ　ｃｌｕｓｔｅｒｓ　ｓｔｕｄｉｅｄ　ｗｉｔｈ　ａ　ｃａｌｏｒｉｍｅｔｅｒ［ＪＪ．　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｐｈｙｓｉｃｓ，１９９９，１　１０：１０００８—１００１５．　Ｊｏｈｎｓｏｎ　Ｂ　Ｎ，Ｍｕｔｈａｒａｓａｎ　Ｒ．Ｂｉｏｓｅｎｓｉｎｇ　ｕｓｉｎｇ　ｄｙｎａｍ—　ｉｃ—ｍｏｄｅ　ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　ｓｅｎｓｏｒｓ：Ａ　ｒｅｖｉｅｗ［Ｊ］．Ｂｉｏｓｅｎｓｏｒｓ　ａｎｄ　…　Ｂｉｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，２０１　１．　ＳＴＯＮＥＹ　Ｇ　Ｇ．Ｔｈｅ　ｔｅｎｓｉｏｎ　ｏｆ　ｍｅｔａｌｌｉｃ　ｆｉｌｍｓ　ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ　ｂｙ　ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｓｉｓ［Ｊ］．Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｒｏｙａｌ　Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｌｏｎｄｏｎ　ｓｅｒｉｅｓ　ａ—Ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇ　Ｐａｐｅｒｓ　ｏｆ　ａ　Ｍａｔｈｅｍａｔｉｃａｌ　ａｎｄ　Ｐｈｙｓｉｃａｌ　Ｃｈａｒａｃｔｅｒ，１９０９，８２（５５３）：１７２－１７５．　［１３】　张柏林，潘宏青．微悬臂梁阵列在电子鼻及生物传感　中的应用［Ｊ］．黑龙江大学自然科学学报，２０１１，２８（０５）：　６７６—６８９．　［１４］　Ｄａｒｅｉｎｇ　Ｄ　Ｗ，Ｔｈｕｎｄａｔ　Ｔ．Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ　ｏｆ　Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ　Ｉｎ—　ｄｕｃｅｄ　Ｓｔｒｅｓｓ　ｏｆ　ａ　Ｍｉｃｒｏ－ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　Ｓｅｎｓｏｒ［Ｊ］．Ｊ．Ａｐｐ１．　Ｐｈｙｓ，２００５，９７（４）：３５２６—１—３５２６—５．　［１５］　景大雷，王飞，赵学增，等．压电微悬臂梁气体传感器　静态弯曲模型的研究『Ｊ１．传感技术学报，２０１１，２４（０５）：　６２９－６３３．　［１６】　景大雷，王飞，王晓明，等．考虑中性层位置变化的微　悬臂梁气体传感器静态模型的分析ｆＪ］．固体力学学　报，２０１２，３３（０５）：３０９—３１５．　【ｌ７］　Ｈｗａｎｇ　Ｋ　Ｓ，Ｌｅｅ　Ｓ　Ｍ，Ｅｏｍ　Ｋ，ｅｔ　ａ１．Ｎａｎｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｍｉｃｒｏｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　ｏｐｅｒａｔｅｄ　ｉｎ　ｖｉｂｒａｔｉｏｎ　ｍｏｄｅｓ　ｗｉｔｈ　ｕｓｅ　ｏｆ　ＲＮＡ　ａｐｔａｍｅｒ　ａｓ　ｒｅｃｅｐｔｏｒ　ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ　ｆｏｒ　ｌａｂｅｌ——ｆｒｅｅ　ｄｅ．．　ｔｅｃｔｉｏｎ　ｏｆ　ＨＣＶ　ｈｅｌｉｃａｓｅ［Ｊ］．Ｂｉｏｓｅｎｓｏｒｓ　ａｎｄ　Ｂｉｏｅｌｅｃｔｒｏｎ—　ｉｃｓ，２００７，２３：４５９—４６５．　（下转第２０页）　第１０卷第５期　２０１３年１０月　纳米加工工艺　Ｎａｎｏ—ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ　Ｖｏ１．１０　Ｎｏ．５　Ｏｃｔｏｂｅｒ　２０１３　４０４．　ａｍｂｏｉｎｉｃｕｓ　Ｌｏｕｒ［Ｊ】．Ｍａｔ　Ｒｅｓ　Ｂｕｌｌ，２０１　１，４６：１７０８—　１７１３．　［９］　Ａｓｃｅｎｃｉｏ　Ｊ．Ａ．，Ｍｅｊｉａ　Ｙ．，Ｌｉｕ　Ｈ．Ｂ．，ｅｔ　ａ１．Ｂｉｏｒｅｄｕｃｔｉｏｎ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｏｆ　Ｅｕ—Ａｕ　ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓ［Ｊ１．Ｌａｎｇｍｕｉｒ，　２００３，１９：５８８２—５８８６．　［１４】Ｃａｓｔｒｏ　Ｌ．，Ｌｕｉｓａ　Ｂ．Ｍ．，Ｇｏｎｚａｌｅｚ　Ｆ．１．，ｅｔ　ａ１．Ｅｘｔｒａｃｅｌｌｕ—　ｌａｒ　ｂｉｏｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｏｆ　ｇｏｌｄ　ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ｕｓｉｎｇ　ｓｕｇａｒ　ｂｅｅｔ　［１０】　Ｋｕｍａｒ　Ｖ．，Ｙａｄａｖ　Ｓ．Ｋ．，Ｐｌａｎｔ－ｍｅｄｉａｔｅｄ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｏｆ　ｓｉｌｖｅｒ　ａｎｄ　ｇｏｌｄ　ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ａｎｄ　ｔｈｅｉｒ　ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ［Ｊ］．Ｊ　Ｃｈｅｍ　Ｔｅｃｈｎｏｌ　Ｂｉｏｔｅｃｈｎｏｌ，２００９，８４：１５　１—１５７．　ｐｕｌｐ［Ｊ］．Ｃｈｅｍ　Ｅｎｇ　Ｊ，２０１０，１６４：９２－９７．　作者简介　［１　１】Ｓｈａｎｋａｒ　Ｓ．，Ｒａｉ　Ａ．，Ａｎｋａｍｗａｒ　Ｂ．，ｅｔ　ａ１．Ｂｉｏｌｏｇｉｃａｌ　ｓｙｎ—　ｔｈｅｓｉｓ　ｏｆ　ｔｒｉａｎｇｕｌａｒ　ｇｏｌｄ　ｎａｎｏｐｒｉｓｍｓ　ｆＪ］．Ｎａｔ　Ｍａｔｅｒ，　２００４，３：４８２—４８８．　吴凌风（１９８８一），男，汉族，福建省漳州市人，硕士　研究生．主要研究领域为纳米材料的制备和形貌　【１２】Ｘｉｅ　Ｊ．，Ｌｅｅ　Ｊ．Ｙ．，Ｗａｎｇ　Ｄ．Ｉ．Ｃ．，ｅｔ　ａｌ１．Ｓｉｌｖｅｒ　ｎａｎｏｐｌａｔｅｓ：　吴维维（１９８７一），女，汉族，福建省漳州市人，硕士　研究生．主要研究领域为纳米材料的制备和分离纯化。　ｆｒｏｍ　ｂｉｏｌｏｇｉｃａｌ　ｔｏ　ｂｉｏｍｉｍｅｔｉｃ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ［Ｊ］＿ＡＣＳ　Ｎａｎｏ，　２００７，１：４２９—４３９．　李清彪（１９６３一），男，汉族，福建省厦门市人，教　授，博士研究生导师，主要研究领域为环境与化工中生　物纳米技术　／；　／；　／；　／；　／；　／；＼！　／：　［１　３］　Ｎａｒａｙａｎａｎ　Ｋ．Ｂ．，Ｓａｋｔｈｉｖｅｌ　Ｎ．，Ｅｘｔｒａｃｅｌｌｕｌａｒ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｏｆ　ｓｉｌｖｅｒ　ｎａｎｏｐａｒｔｉｅｌｅｓ　ｕｓｉｎｇ　ｔｈｅ　ｌｅａｆ　ｅｘｔｒａｃｔ　ｏｆ　Ｃｏｌｅｕｓ　／；＼！／：＼：　／；　／；　／；　／；　／：　／　：／；　（上接第９页）　Ｐｒｏｇｒｅｓｓ　ｉｎ　Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ　ｏｆ　Ｍｏｎｏｌｉｔｈｉｃ　Ａｃｔｉｖｅ　Ｐｉｘｅｌ　Ｄｅ—　ｔｅｃｔｏｒ　ｆｏｒ　Ｘ—ｒａｙ　Ａｓｔｒｏｎｏｍｙ　ｗｉｔｈ　ＳＯＩ　ＣＭＯＳ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　［８８１　王超．ＲＦ　ＳＯＩ　ＣＭＯＳ工艺器件仿真及电路应用研究　［Ｄ］．上海：华东师范大学，２０１０．　作者简介　［Ｊ］．Ｐｈｙｓｉｃｓ　Ｐｒｏｃｅｄｉａ，２０１２，３７：１３７３—１３８０．　ｃｋｓｏｎ　ＴＯ，Ｂｕｌｚａｃｃｈｅｌｌｉ　ＪＦ，Ｆｒｉｅｄｍａｎ　ＤＪ．Ａ　１２一Ｇｂ／ｓ　［６】　Ｄｉ１　１——ｍＷ　ｈａｌｆ—．ｒａｔｅ　ｓａｍｐｌｅｄ　５　．ｔａｐ　ｄｅｃｉｓｉｏｎ　ｆｏｅｄｂａｃｋ　ｅ．．　ｑｕａｌｉｚｅｒ　ｗｉｔｈ　ｃｕｒｒｅｎｔ——ｉｎｔｅｇｒａｔｉｎｇ　ｓｕｍｍｅｒｓ　ｉｎ　４５——ｎｍ　张剑（１９８７一），男，汉族，陕西渭南人，硕士研究　ＳＯｌ　ＣＭ０Ｓ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ［Ｊ］．Ｓｏｌｉｄ—Ｓｔａｔｅ　Ｃｉｒｃｕｉｔｓ，２００９，４４　ｆ４１：１２９８—１３０５．　生．主要研究领域为通信集成电路设计。　商世广（１９７５一），男，汉族，河南信阳人，副教授，　硕士研究生导师，主要研究领域为微纳电子材料与器件。　［７】　骆苏华，刘卫丽，张苗，等．ＳＯＩ在射频电路中的应用　ＩＪＪ．微电子学，２００５，３５（１）：６７—７０．　仝：，；＼！仝：，；、！舍：，；＼！全：合　舍：合　舍：／；、：金　金　全！／；＼：舍！金　／；＼！，；＼：合　合｛合　／：＼：／；＼！合　／；＼！金　金：仓！／；＼：仓！／；＼：金　金　／：＼！仓：／：、　合　（上接第１３页）　【１８】Ｖ　Ｓ，Ｒａｊｏｒｙａ　Ａ，Ｐａｎｔ　Ｐ，ｅｔ　ａ１．Ｐｏｌｙｍｅｒ　ｍｉｅｒｏｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　ｂｉｏｃｈｅｍｉｃａｌ　ｓｅｎｓｏｒｓ　ｗｉｔｈ　ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　ｐｏｌｙｍｅｒ　ｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓ　ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅ　ｐｒｏｂｅｓ　Ｉｊ］．Ｓｅｎｓｏｒｓ　ａｎｄ　Ａｃｔｕａｔｏｒｓ　Ｂ，　２０１　１，１６０：６５０－６５５．　ｆｏｒ　ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ　ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ【Ｊ］．Ｓｏｌｉｄ　Ｓｔａｔｅ　Ｓｃｉｅｎｃｅｓ，　２００９，１１：１６０６　１６１１．　作者简介　［１９］　Ｃａｌｌｅｊａ　Ｍ，Ｎｏｒｄｓｔｒｏｍ　Ｍ，Ａｌｖａｒｅｚ　Ｍ，ｅｔ　ａ１．Ｈｉｇｈｌｙ　ｓｅｎｓｉ—　ｒｉｖｅ　ｐｏｌｙｍｅｒ——ｂａｓｅｄ　ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ——ｓｅｎｓｏｒｓ　ｆｏｒ　ＤＮＡ　ｄｅｔｅｃ—－　刘志伟（１９８９一），男，汉族，湖南省娄底市人，硕士　研究生．主要研究领域为生物检测。　ｔｉｏｎ［Ｊ］．Ｕｈｒａｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，２００５，１０５：２１５—２２２．　　ａ１．Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｈｅｐ—　［２０】　Ｃｈａ　Ｂ　Ｈ，Ｌｅｅ　Ｓ　Ｍ，Ｐａｒｋ　Ｔ　Ｃ，ｅｔ童朝阳（１９７２一），男，汉族，四川省乐山市人，研究　员．博士研究生导师，主要研究领域为生物传感与生物　检测。　ａｔｉｔｉｓ　Ｂ　Ｖｉｒｕｓ（ＨＢＶ）ＤＮＡ　ａｔ　ｆｅｍｔｏｍｏｌａｒ　ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｓ　ｕｓｉｎｇ　ａ　ｓｉｌｉｃａ　ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅ—ｅｎｈａｎｃｅｄ　ｍｉｃｒｏｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ　ｓｅｎｓｏｒ　ｌＪ１．Ｂｉｏｓｅｎｓｏｒｓ　ａｎｄ　Ｂｉｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，２００９，２５：　１３０—１３５．　张金平ｆ１９７８一），男，汉族，山东省平度市人，硕士　研究生．助理研究员，主要研究领域为生物检测。　郝兰群（１９７０一），女，汉族，河北省衡水市人，本　科．工程师，主要研究领域为生物检测。　ｙｕａｎ，Ｗａｎｇ　Ｃｈａｏｍｉｎｇ，Ｚｈａｎｇ　Ｍｉｎｇｈｕｉ．Ｄｅｔｅｃｔｉｎｇ　［２１］　Ｍａ　Ｌｉｐｒｏｔｅｉｎ　ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｂｉｎｄｉｎｇ　ｕｓｉｎｇ　ｍａｇｎｅｔｉｃ